1x2靜電致動式光纖對光纖型光開關

作者：郭文正

簡介：

本研究利用特殊的SOI製程製作出具有雙層結構的1x2光纖對光纖型(fiber-to-fiber)光開關，此設計之優點在於無需在光纖前端加裝準直透鏡，有效降低元件之製作成本。在驅動的原理上，採用了靜電式梳狀致動器的結構設計，能夠有效控制輸入光纖之移動，達到切換的功能。此元件在兩組輸出光纖的平均光損耗分別為0.92 dB和0.89 dB，切換時間僅需3.5毫秒，皆符合業界BELLCORE之規範。

圖一、1x2靜電致動式光開關示意圖

  圖二、1x2靜電致動式光開關電子顯微鏡拍攝圖

相關發表：

Y.-J. Yang, W.-C. Kuo, K.-C. Fan, and W.-L. Lin, “A 1x2 optical fiber switch using a dual-thickness SOI process”, Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM), Vol. 17, 2007, pp. 1034-1041