高速掃瞄穿隧式電子顯微鏡之微共振器

作者：沈信宏、廖柏亭 (與台大凝態中心白偉武教授團隊共同合作)

簡介：本研究採用電容式之驅動及感測方式，設計出微型共振驅動器。共振頻率及驅動振幅為元件設計最重要的兩個指標，因此，本研究必須設計出適當尺寸的撓性支撐機構，及足夠數量的電容式驅動單元。元件可利用SOI晶圓與微機電技術製造。其特性包括體積小、高共振頻率和大共振位移量，以應用於快速掃描射頻穿隧探針顯微鏡(STM)之微型探頭。

圖一、(a) AFM/STM量測系統 ；(b)微機電式微共振器示意圖。

圖二、(a)微機電式微共振器；(b)梳狀致動器；(c)撓性支撐結構；(d)懸臂樑。

相關發表：

H.-H. Liao, H.-H. Shen, B.-T. Liao, Y.-C. Chen, W.-W. Pai, and Y.-J. Yang, "A MEMS-based Electrostatic Resonator Used for the Application of Fast-Scanning Scanning Tunneling Microscopy," IEEE-NEMS 2010, Xiamen, China, Jan. 20-23, 2010 (accepted for oral presentation).