微機電式數位∕類比轉換機構驅動之微鏡面

作者：廖信宏

簡介：

近年來，由於系統體積縮小及性能提升之要求，度量指標已逐漸邁入了奈米的世界。高靈敏度與高準確度的位移或變形量測，為進行次微米乃至於奈米尺度等領域之研究所不可或缺的技術。以目前的量測方式來看，由於微小的荷重即可能對元件造成影響，因此利用高解析度及非接觸特性的光學檢測方法，乃是奈米量測技術中不可替代的重要科技。

傳統的Linnik白光干涉儀在進行量測時，需調整參考面鏡的位置，以改變兩道光路徑之間的光程差。由於參考面鏡的控制精準度需在數奈米之下，因此常藉由小位移的壓電致動平台配合回授控制系統來達成。此類系統通常架構相當複雜，且造價相當昂貴。因此，本研究開發出一微機電式的數位∕類比轉換機構的微鏡面系統，其利用數位訊號即可在不經過回授系統的架構下，精準地讓反射鏡面每次移動1/8光源波長的位移量，達到量測上的需求。