本研究提出一創新性電容感測器結構設計，發展出三軸向可撓性觸覺感測陣列，將應用於仿生機器人之人工皮膚，以實現機器人具有抓握物體的能力。此感測器結構的設計，除了製造程序簡易，更具有高可靠度的特性。本研究中，電容感測陣列的製造技術，是採用微機電製程及軟性電路板技術製作而成，其感測元件以聚二甲基矽氧烷 (PDMS) 與聚亞醯胺 (PI) 構成其主要結構材質。其中PDMS結構層型是由微機電技術之微影製程製作SU-8母模所翻模而成。並於PDMS結構層上，蒸鍍已定義圖形之金屬層，來作為電容式感測陣列當中之浮動電極。感測電極與金屬導線則利用軟性電路板技術製作完成。在每一個三軸向觸覺感測單元當中，則有四個電容感測器，能將接觸力轉換成正向力與剪力。為了能更精準偵測剪力變化，在研究中，將凸塊結構與觸覺感測器之間的支撐圓柱應用於其中。本研究針對所製作感測器單元進行三軸向的特性量測。其感測單元能有效量測力量範圍為100mN。研究中亦開發32×32電容式觸覺感測陣列之掃描電路，將其應用於所相對應的感測器陣列。