2x2電熱致動式分裂十字型光開關

作者：廖柏亭、郭文正 

簡介：

本研究以分裂十字型配合雙穩態驅動之結構設計，配合SOI製程製作出2x2之光開關。有別於傳統十字型之光開關設計，此分裂十字型之設計，在反射鏡的厚度不會受到限制，且能確保每個光纖通道都能有最少的光損失。熱致動式雙穩態驅動結構的設計，讓此元件僅有在需要進行光路切換時才施加電流，有效控制元件本身的能量消耗。

圖一、熱致動器及雙穩態結構示意圖。

圖二、熱致動器及雙穩態結構電子顯微鏡拍攝圖。

  圖三、反射鏡面電子顯微鏡拍攝圖。

相關發表：

1. Y.-J. Yang, B.-T. Liao, and W.-C. Kuo “A novel 2x2 MEMS optical switch using the split-cross-bar design”, Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM), Vol. 17, 2007, pp. 875-882
2. B.-T. Liao, W.-C. Kuo and Y.-J. Yang, “Development of a new micromachined 2X2 optical switch without optical misalignment”, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT), Singapore, Jun. 2006.