微機電系統 (Micro Electro-Mechanical Systems) 乃一涵蓋機械、電機、生醫、光電、電子、通訊等領域之專業知識，以建立在微加工、微致動器以及微感測器等技術的整合型技術。利用微機電技術可製造出如頭髮直徑一般大小之元件，使得許多傳統大型系統無法完成的工作得以實行，為人類生活帶來深刻且全面的影響。

本研究團隊目前研究主題如下：

1. 軟性電子與感測陣列：可撓性人工皮膚於仿生智慧機器人應用。

2. 奈米量測系統：電子穿隧式顯微鏡之微型共振探針致動器，及白光干涉動態奈米量測儀之微鏡面及微驅動器。

3. 微流體生醫系統：各微流體元件與微形化生醫晶片。 

4. 智慧光機電系統：各種智慧生活創意設計之高科技元件及系統。  

5. 光纖通訊元件：光纖網路關鍵零組件，如光開關及可調式光功率衰減器等。

 　　以上研究多與政府機構，法人及私人企業合作執行多項專題計畫，研究成果，均發表於國際知名期刊與取得國內外多項專利，培育出學術界與業界之優秀研發人才。