NxN微機電光開關系統

作者：廖柏亭、施順智

簡介：

光開關乃為應用於光纖通訊網路中的一種關鍵性元件，其可將光纖網路中的光訊號進行切換，調整光訊號的傳遞路徑，以達成網路保護、頻寬分配等應用。本研究團隊運用微機電技術，著眼於光開關元件之研發，以應用於已蓄勢待發的光通訊產業上。本研究利用矽晶圓非等向性濕蝕刻之技術，製作出NxN之微鏡面結構，配合電磁致動器之設計及組裝，開發出NxN之光開關系統。

8x8電磁致動式光開關

Y.-J. Yang, B.-T. Liao, S.-C. Shih, and K.-C. Fan, “The Development of An 8x8 Optical Switch”, Journal of the Chinese Institute of Engineers, 2009, 09027

4x4電磁致動式光開關

Y.-J. Yang and B.-T. Liao, “A Novel 4x4 Optical Switch Using An Anisotropically-etched Micro-mirror Array and A Bi-stable Mini-actuator Array”, IEEE Photonic Technology Letters, Vol. 21, No. 2, 2009, pp. 115-117